應(yīng)用背景
近幾年，硅基光電子技術(shù)受到業(yè)界的廣泛關(guān)注，可以在硅基上集成多個光器件，如波導(dǎo)、光柵、耦合器、MZ、光開關(guān)、調(diào)制器等，在成本、功耗、尺寸上具有明顯優(yōu)勢。由于其制備工藝差異，需要對波導(dǎo)結(jié)構(gòu)鏈路中的光器件進(jìn)行插損、回?fù)p測量，以此評估是否符合設(shè)計要求。
系統(tǒng)概述
昊衡科技推出的商用OCI光頻域反射監(jiān)控系統(tǒng)（簡稱OCI），50m測量范圍內(nèi)空間分辨率高達(dá)10μm，可精準(zhǔn)測量插損、回?fù)p，非常適用于硅光芯片/器件。
測量過程
在石英襯底上集成的平面光波導(dǎo)，接入OCI進(jìn)行測量，如圖1所示。測量結(jié)果如圖2。
圖1 平面波導(dǎo)光路圖
圖2中紅、黃兩游標(biāo)為光纖與波導(dǎo)的耦合位置，兩者間距為延時線，長度是2.30199m。延時線上散射光形成一段斜坡并呈現(xiàn)出規(guī)律的半圓形。斜坡下降的幅值為整個波導(dǎo)產(chǎn)生的插入損耗，為3.3dB/m。波譜中的半圓形是由螺旋型光路導(dǎo)致的，突起的損耗點為回波損耗，是由光路中心較大的彎曲造成的。
圖2 測量結(jié)果
實現(xiàn)功能
OCI可精準(zhǔn)測量硅光波導(dǎo)的長度、插損、回?fù)p等，且其測量結(jié)果有效地反映了硅光波導(dǎo)的特殊結(jié)構(gòu)。
